化學mems

『壹』 簡述什麼是mems其特點是什麼

MEMS一般指微機電系統
微機電系統（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械繫統、微系統、微機械等，是在微電子技術（半導體製造技術）基礎上發展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術製作的高科技電子機械器件。
MEMS系統特點：
1）微型化：MEMS器件體積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧振頻率高、響應時間短。
微機電系統
2）以硅為主要材料，機械電器性能優良：硅的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當，密度類似鋁，熱傳導率接近鉬和鎢。
3）批量生產：用硅微加工工藝在一片矽片上可同時製造成百上千個微型機電裝置或完整的MEMS。批量生產可大大降低生產成本。
4）集成化：可以把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個感測器或執行器集成於一體，或形成微感測器陣列、微執行器陣列，甚至把多種功能的器件集成在一起，形成復雜的微系統。微感測器、微執行器和微電子器件的集成可製造出可靠性、穩定性很高的MEMS。
5）多學科交叉：MEMS涉及電子、機械、材料、製造、信息與自動控制、物理、化學和生物等多種學科，並集約了當今科學技術發展的許多尖端成果。

『貳』 什麼是MEMS技術

MEMS是微機械(微米/納米級)與IC集成的微系統，即具有智能的微系統，MEMS基於硅微加工技術但不僅限於它。簡單來說，MEMS就是對系統級晶元的進一步集成。我們幾乎可以在單個晶元上集成任何東西，像運動裝置、光學系統、發音系統、化學分析、無線系統及計算系統等，因此MEMS技術是一門多學科交叉的技術。MEMS器件價格低廉、性能優異、適用於多種應用，將成為影響未來生活的重要技術之一。
微電子機械繫統(MEMS)技術是建立在微米/納米技術（micro/nanotechnology）基礎上的21世紀前沿技術，是指對微米/納米材料進行設計、加工、製造、測量和控制的技術。它可將機械構件、光學系統、驅動部件、電控系統集成為一個整體單元的微型系統。
這種 微電子機械繫統不僅能夠採集、處理與發送信息或指令，還能夠按照所獲取的信息自主地或根據外部的指令採取行動。它用微電子技術和微加工技術(包括硅體微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片鍵合等技術)相結合的製造工藝，製造出各種性能優異、價格低廉、微型化的感測器、執行器、驅動器和微系統。 微電子機械繫統（MEMS）是近年來發展起來的一種新型多學科交叉的技術，該技術將對未來人類生活產生革命性的影響。它涉及機械、電子、化學、物理、光學、生物、材料等多學科。對 微電子機械繫統(MEMS)的研究主要包括理論基礎研究、製造工藝研究及應用研究三類。理論研究主要是研究微尺寸效應、微磨擦、微構件的機械效應以及微機械、微感測器、微執行器等的設計原理和控制研究等；製造工藝研究包括微材料性能、微加工工藝技術、微器件的集成和裝配以及微測量技術等；應用研究主要是將所研究的成果，如微型電機、微型閥、微型感測器以及各種專用微型機械投入實用。
微電子機械繫統（MEMS）的製造，是從專用集成電路（ASIC）技術發展過來的，如同ASIC技術那樣，可以用微電子工藝技術的方法批量製造。但比ASIC製造更加復雜，這是由於 微電子機械繫統（MEMS）的製造採用了諸如生物或者化學活化劑之類的特殊材料，是一種高水平的微米/納米技術。微米製造技術包括對微米材料的加工和製造。它的製造工藝包括：光刻、刻蝕、淀積、外延生長、擴散、離子注入、測試、監測與封裝。納米製造技術和工藝，除了包括微米製造的一些技術（如離子束光刻等）與工藝外，還包括利用材料的本質特性而對材料進行分子和原子量級的加工與排列技術和工藝等。 微電子機械繫統的製造方法包括LIGA工藝（光刻、電鍍成形、鑄塑）、聲激光刻蝕、非平面電子束光刻、真空鍍膜（濺射）、硅直接鍵合、電火花加工、金剛石微量切削加工。

『叄』 名詞解釋：什麼是MEMS

微機電系統（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械繫統、微系統、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機電系統其內部結構一般在微米甚至納米量級，是一個獨立的智能系統。
微機電系統是在微電子技術（半導體製造技術）基礎上發展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術製作的高科技電子機械器件。
微機電系統是集微感測器、微執行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、介面、通信等於一體的微型器件或系統。MEMS是一項革命性的新技術，廣泛應用於高新技術產業，是一項關繫到國家的科技發展、經濟繁榮和國防安全的關鍵技術。
MEMS側重於超精密機械加工，涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域。它的學科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學、機械學的各分支。
常見的產品包括MEMS加速度計、MEMS麥克風、微馬達、微泵、微振子、MEMS光學感測器、MEMS壓力感測器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度感測器、MEMS氣體感測器等等以及它們的集成產品。
希望對你有幫助！

『肆』 什麼是mems

MEMS是微機電系統（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文縮寫。MEMS是美國的叫法，在日本被稱為微機械，在歐洲被稱為微系統，它是指可批量製作的，集微型機構、微型感測器、微型執行器以及信號處理和控制電路、直至介面、通信和電源等於一體的微型器件或系統。MEMS是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發展而發展起來的，目前MEMS加工技術還被廣泛應用於微流控晶元與合成生物學等領域，從而進行生物化學等實驗室技術流程的晶元集成化。

『伍』 在什麼樣的情況下的化學感測器,可以被認為是一個MEMS

個人認為，採用MEMS工藝製造的、需要電信號的、有懸空結構（懸臂、懸梁等）的感測器就是MEMS感測器。

『陸』 mems系統級設計的優缺點

優點：
1、微型化：mems器件體積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧振頻率高、響應時間短。
2、以硅為主要材料，機械電器性能優良：硅的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當，密度類似鋁，熱傳導率接近鉬和鎢。
3、批量生產：用硅微加工工藝在一片矽片上可同時製造成百上千個微型機電裝置或完整的mems。批量生產可大大降低生產成本。
4、集成化：可以把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個感測器或執行器集成於一體，或形成微感測器陣列、微執行器陣列，甚至把多種功能的器件集成在一起，形成復雜的微系統。微感測器、微執行器和微電子器件的集成可製造出可靠性、穩定性很高的MEMS。
5、多學科交叉：mems涉及電子、機械、材料、製造、信息與自動控制、物理、化學和生物等多種學科，並集約了當今科學技術發展的許多尖端成果。
缺點：
暫時沒有缺點。

『柒』 mems是什麼意思

MEMS感測器即微機電系統（Microelectro Mechanical Systems）

是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經過四十多年的發展，已成為世界矚目的重大科技領域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫學等多種學科與技術，具有廣闊的應用前景。

應用

MEMS感測器應用於無創胎心檢測，檢測胎兒心率是一項技術性很強的工作，由於胎兒心率很快，在每分鍾l20～160次之間，用傳統的聽診器甚至只有放大作用的超聲多普勒儀，用人工計數很難測量准確。

而具有數字顯示功能的超聲多普勒胎心監護儀，價格昂貴，僅為少數大醫院使用，在中、小型醫院及廣大的農村地區無法普及。此外，超聲振動波作用於胎兒，會對胎兒產生很大的不利作用。盡管檢測劑量很低，也屬於有損探測范疇，不適於經常性、重復性的檢查及家庭使用。

『捌』 mems特徵尺寸

其特徵尺寸一般在0.1μm～100μm范圍。MEMS集成了當今科學技術的許多尖端成果，它將感知信息處理與執行機構相結合，改變了人類感知和控制外部世界的方式。

從全球產業競爭格局來看，2018年中國MEMS感測器行業銷售規模排名全球第一，佔全球比重達23.82%，其次為美國(15.61%)、韓國(9.03%)和日本(8.01%)。此外德國(6.57%)、英國(3.29%)等少數經濟發達國家也占據了重要份額，中東、非洲等地區所佔份額相對較少。

含義

MEMS全稱Micro Electromechanical System，微機電系統。是指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置，其內部結構一般在微米甚至納米量級，是一個獨立的智能系統。主要由感測器、動作器（執 行器）和微能源三大部分組成。

微機電系統涉及物理學、半導體、光學、電子工程、化學、材料工程、機械工程、醫學、信息工程及生物工程等多種學科和工程技術，為智能系統、消費電子、可穿戴設備、智能家居、系統生物技術的合成生物學與微流控技術等領域開拓了廣闊的用途。

常見的產品包括MEMS加速度計、MEMS麥克風、微馬達、微泵、微振子、MEMS壓力感測器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度感測器等以及它們的集成產品。

『玖』 MEMS的英文名稱是

微機電系統（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文縮寫